徠卡體視顯微鏡中透鏡的像差

前面我們討論的是理想成像的電子光學(xué)。在一些待定的條件下，物與像之間有點(diǎn)一點(diǎn)對(duì)應(yīng)和幾何相似的關(guān)系。然而實(shí)際情況與理想的像有偏離，這就是傷差。我們可以根據(jù)它們不同的產(chǎn)生原因，用像點(diǎn)徑向位置的偏離來(lái)作定量描述。

1.幾何修差

當(dāng)電子軌跡不滿足倍鈾條件時(shí)所形成的像差稱為幾何像差。已知倍軸條件歸結(jié)為兩點(diǎn)，即（一）軌跡的徑向離軸位置（r）很小；（二）軌跡相對(duì)于軸的斜率或電子束對(duì)軸的傾角也很小。幾何像差來(lái)自這些量并非無(wú)限小。研究指出，影響zui重要的是三級(jí)倍差，即實(shí)際像點(diǎn)的偏離正比于這些量的三級(jí)項(xiàng)者。它們是球差（正比于小）、當(dāng)形差（正比于M’）、場(chǎng)曲和像散（正比于rz“）和畸變（正比于r3）。電鏡中我們只關(guān)注*種和第四種幾何像差。

2.球差

經(jīng)軸上物點(diǎn)發(fā)出的電子束斜率較小者，可在理想傷平面中會(huì)聚成一個(gè)點(diǎn)。如果透鏡光鬧所決定的孔徑角。A1、A2一分別為像方或物方的電子柬有效孔徑角（或半張角）。因?yàn)榭讖浇菫閲嵉膶?shí)心錐形電子束中包含有從o”蝎不同孔徑角的各電子束，它會(huì)聚在不同位置處，因此在理想像點(diǎn)與zui近透鏡的像點(diǎn)之間的某處．必存在一zui小模糊圓。

式中各符號(hào)納意義同式。電子光學(xué)中的球差是不可消除的。球差系數(shù)與透鏡極靴的形狀，焦炬等有關(guān)，故在儀器的設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量設(shè)法減小c的值。此外在使用中還可用物鏡光鬧扎的大小來(lái)調(diào)節(jié)束孔徑角軋、從而減小球差的模糊斑。

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